單晶硅烘箱概念

主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。 特點

1，本系列主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。

2，本系列烘箱采用數(shù)顯溫度調(diào)節(jié)儀進行溫度控制、控溫靈敏、操作簡便、性能可靠，數(shù)字直接顯 示出工作溫度，直觀易讀。

3，工作室溫度可在室溫至250℃之間任意恒溫；能自動切斷電源，保護設備和產(chǎn)品。

4，該設備具有超溫報警，恒溫計時功能。

箱體結(jié)構: 設計*，箱體采用數(shù)控機床加工成型，箱門采用雙開式，操作容易。內(nèi)膽采用SUS304不銹鋼板，外殼為A3板噴塑處理，更顯光潔、美觀。電路系統(tǒng)側(cè)采用門式開啟，方便維護和檢修。箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保烘箱的密閉性。

單晶硅烘箱日常保養(yǎng)：

1． 打掃表面及內(nèi)腔灰塵，保持機器干凈、衛(wèi)生。

2． 檢查電流表電流跟正常時是否一樣，如有異樣，通知維修工檢修。

技術參數(shù)：

1、工作室材質(zhì)：鏡面不銹鋼板；

2、網(wǎng)板：2層不銹鋼網(wǎng)板；

3、定時范圍：1-9999min 4、溫度范圍：RT 10~400℃；

5、溫度分辨率：0.1℃；

6、溫度波動度：≤±0.5℃。

應用領域：

1、高科技電子業(yè)

2、化驗室等單位

3、研究機構

4、精密品管部門

■ 控制執(zhí)行系統(tǒng): 溫度控制器采用觸摸按鍵、數(shù)顯LED顯示、PID智能控制儀表； Pt100鉑電阻測溫傳感器；